中国报告大厅网讯,随着科技的飞速发展,芯片封装行业在2025年迎来了新的技术突破和市场需求增长。芯片封装作为半导体制造的关键环节,不仅需要保护芯片免受外界环境的影响,还要确保芯片与外部电路的正确连接。然而,随着工艺节点的不断缩小和集成度的提升,封装过程中的缺陷问题日益凸显。据统计,高端制程如3nm工艺的良品率仅为55%左右,其中相当一部分是由于芯片表面缺陷。因此,如何有效检测并剔除这些缺陷芯片,提高产品良品率,成为半导体制造企业面临的重要挑战。本文介绍了一种基于深度学习的芯片封装缺陷检测系统,该系统通过高效的图像采集、精准的缺陷检测和自动化的测试分选,显著提升了芯片封装的质量和效率。
《2025-2030年中国芯片封装行业重点企业发展分析及投资前景可行性评估报告》指出,芯片封装过程中可能出现的缺陷类型多样,包括划痕、破损、溢胶、坑洼等。这些缺陷不仅影响芯片的外观,还可能导致功能失效,严重影响产品质量和市场竞争力。传统的缺陷检测方法主要依赖人工目检或简单的图像处理技术,检测效率低、准确率不高,难以满足现代生产线对高效、精准检测的需求。近年来,深度学习技术在图像处理领域的应用为芯片封装缺陷检测带来了新的机遇。基于深度学习的目标检测算法能够自动识别芯片的缺陷和组件的位置,从而提高生产效率和降低成本。
(一)系统整体结构
基于深度学习的芯片封装缺陷检测系统由图像采集设备、基于深度学习的芯片封装缺陷检测识别方法以及测试分选设备三大部分组成。图像采集设备负责自动、连续地采集芯片封装表面的图像;缺陷检测识别方法通过深度学习算法对图像进行分析,识别出缺陷的位置和类型;测试分选设备则根据检测结果完成芯片的分选和剔除。该系统实现了对芯片封装缺陷的高速、高精度在线检测与识别,同时完成了缺陷芯片的自动剔除,有效提高了产品质量信息反馈的准确性与时效性。
(二)系统工作原理
检测软件启动后,系统会加载预训练的深度学习模型,并初始化设备参数。当光纤传感器感知到芯片样品时,CMOS高速相机开始拍摄视频流,并将图像数据送入检测网络模型。模型快速判断是否存在缺陷,并输出检测结果图像。如果存在缺陷,系统会标记缺陷的位置和种类,并将相关信息显示在检测信息栏中,同时发出报警提示。如果不存在缺陷,设备正常运行,进入下一帧图像的检测。
(一)图像采集硬件设计
CMOS相机:CMOS相机是图像采集系统的核心部件,负责将光信号转化为电信号。相较于传统的CCD相机,CMOS相机具有更好的抗晕光和拖尾能力,信噪比和灵敏度也较高,更适合芯片封装检测的场景。
远心镜头:远心镜头能够保证物体在一定物距范围内所成像不发生变化,具有极高的分辨率和极低的畸变,能够采集清晰且不失真的芯片封装图像,适用于精密检测。
多光谱环形光源:针对芯片封装尺寸小且表面易反光的特点,多光谱环形光源能够突出显示封装产品的形状光泽,适应多种封装类型,为图像采集提供均匀的照明效果。
(二)测试分选硬件设计
高速旋转真空吸嘴:真空吸嘴通过大气压力吸附芯片,实现芯片的搬运。系统建立了真空吸嘴吸附芯片的动力学模型,优化了主电机的加减速控制曲线,确保在高速旋转状态下真空吸附力的稳定,降低飞料率,延长无故障运行时间。
独立电机驱动下压机构:为避免芯片与测试座发生碰撞,系统采用独立电机驱动下压机构,通过分段力矩控制实现芯片与测试座之间的稳定可靠接触,确保电性能测试的准确性。
机械传动装置:机械传动装置由XYZ三轴移动平台构成,通过电机驱动丝杆实现精确的运动控制,确保图像采集模块能够准确定位到芯片表面的各个区域。
(一)系统软件架构
系统软件架构采用模块化设计,集成了图像采集、缺陷检测、测试分选以及控制系统等多个核心模块。各模块之间通过高效的通信协议和数据接口实现无缝连接和信息交互,形成了一个协同工作的整体系统。模块化设计不仅简化了开发流程,还提高了系统的灵活性和可靠性,为后续的维护和升级工作提供了便利。
(二)图像采集软件设计
图像采集软件负责精确控制CMOS相机和机械传动装置,确保图像数据的稳定采集。该软件支持自动扫描和手动定位两种操作模式,以满足不同检测场景下的需求。在自动扫描模式下,软件根据预设的扫描路径和参数,自动调整相机的位置和焦距,连续采集芯片表面的图像数据。在手动定位模式下,用户可以通过直观的操作界面,精确控制相机移动到指定位置,进行定点图像采集。为了提升图像采集的效率和准确性,该软件还集成了实时预览和图像质量评估功能,确保后续缺陷检测的准确性和可靠性。
(三)缺陷检测软件设计
系统引入了基于深度学习的YOLOv7算法,对芯片封装缺陷进行检测。YOLOv7算法在目标检测领域能够较好地平衡检测精度与速度,减少手动提取特征对缺陷识别精度的影响。在YOLOv7算法的基础上,系统对网络结构进行了进一步改进,包括图像数据增强、特征提取网络优化等,进一步提升了模型的训练速度与识别性能。改进后的YOLOv7网络结构能够更有效地处理芯片封装缺陷检测任务,提高检测的准确性和效率。
(四)测试分选软件设计
测试分选软件负责根据缺陷检测系统的识别结果,控制测试分选装置对芯片进行精确的分选与剔除操作。该软件由缺陷芯片识别、坐标定位、真空吸嘴控制和分类回收等多个功能模块组成,形成了一个高效的测试分选流程。软件具备实时监测和故障报警功能,能够确保测试分选过程的稳定性和安全性。
(一)实验环境搭建
实验中,自主设计的小型封装芯片高速转塔式测试分选设备集成了高分辨率工业相机、精密机械臂、高速图像处理单元及PC上位机控制系统等高精度组件。软件环境基于Python编程语言构建,利用TensorFlow或PyTorch等深度学习框架设计并训练模型,同时引入OpenCV开源计算机视觉库进行图像预处理与特征提取。测试样本覆盖了市场上常见的多种封装类型芯片,包括SOP、QFP、BGA等,每种类型均包含已知缺陷芯片和无缺陷芯片,以全面评估算法检测能力。
(二)实验过程
芯片封装行业现状分析指出,图像采集与上传:将CMOS相机、镜头、环形LED光源等设备安装在实验平台上,并与上位机相连。通过调整相机的位置和焦距,确保图像清晰。实验平台的传动装置在X轴和Y轴之间交替运动,相机逐渐遍历整个芯片区域,并将采集到的图像实时上传至检测系统。
芯片封装缺陷检测:系统提供实时检测和单次检测两种模式。实时检测模式下,系统对视频流中的每一帧图像进行分析,实时显示检测结果;单次检测模式下,系统对离线的芯片图像进行分析,快速完成检测任务。
芯片测试分选:测试分选装置根据缺陷检测结果,精确获取缺陷芯片的坐标,通过真空吸嘴将缺陷芯片吸附并搬运至分类回收区,实现缺陷芯片的自动剔除和分类回收。
(三)实验结果
实验结果显示,该检测系统识别准确率超过90%,检测速度达到22.5FPS以上,并在实际生产环境中稳定运行,满足了集成电路芯片封装工程上对于高效缺陷检测与剔除的需求。
