光刻机分为无掩模光刻机和有掩模光刻机,是集成电路产业皇冠上的明珠,全球范围内最先进的沉浸式光刻机也只有ASML、尼康和佳能三家能够生产,以下是光刻机行业现状分析。
光刻机被誉为人类20世纪的发明奇迹之一,是集成电路产业皇冠上的明珠,研发的技术门槛和资金门槛非常高。光刻机行业分析指出,光刻机行业格局为三分天下,主要由是荷兰ASML、日本Nikon及日本canon主宰。
光刻机行业现状分析指出,2014-2020年ASML企业光刻机销量不断上升,2019年ASML企业光刻机销量为224台,2020年销量较2019年增加5台,2020年ASML企业光刻机销量为229台。
2020年ASML企业ArFi机型光刻机销量为82台,KrF机型光刻机销量为65台,i-line光刻机销量为34台,AriFdry机型光刻机销量为22台,EUV光刻机销量为26台。
ASML在技术更先进的EUV、ArFi、ArF机型市场占有率不断提升,且远大于Canon和Nikon。2019年ASML上述三种机型出货量总计为101台,市场份额占比为78.29%,到2020年ASML出货量增长到120台,市场份额约90%。Canon和Nikon在EUV、ArFi、ArF机型销售量远低于ASML,二者产品主要集中价值量更低的后道光刻机以及面板光刻机领域。
IC前道光刻机技术最为复杂,光刻工艺是IC制造的核心环节也是占用时间比最大的步骤,光刻机是目前晶圆制造产线中成本最高的半导体设备。光刻设备约占晶圆生产线设备成本27%,光刻工艺占芯片制造时间40%-50%。
目前,光刻机领域的龙头老大是荷兰ASML,并已经占据了高达80%的市场份额,垄断了高端光刻机市场-最先进的EUV光刻机售价曾高达1亿美元一台,且全球仅仅ASML能够生产。Intel、台积电、三星都是它的股东,重金供养ASML,并且有技术人员驻厂,Intel、三星的14nm光刻机都是买自ASML,格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机主要也是来自ASML。
光刻机行业现状分析指出,中芯国际(SMIC)订购的是最新型的使用EUV(极紫外线)技术的芯片制造机器光刻机,价值1.2亿欧元,与其去年净利润1.264亿美元大致相当。
长江存储装入193nm浸润式光刻机,售价7200万美元(约合人民币4.6亿元),可用于14-20nm工艺。
华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司装入193nm双级沉浸式光刻机,用于10nm级(14~20nm)晶圆生产。
如今,我国对于光刻机行业较为重视。其主要表现在对于整个IC产业链企业的政策优待以及对于半导体设备行业的相关规划与推动。其主要表现在资金方面的补助和人才方面的培养,以及进出口,投融资方面的政策扶持,以上便是光刻机行业现状分析所有内容了。