电子气体广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。目前主要的电子气体有：硅烷、氨气、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷、一氧化二氮、三氯化硼、溴化氢、一氧化碳、氖气、氪气等。2016年我国高纯特种电子气体市场规模分析详情如下。

　　高纯特种电子气体是整个电子工业体系的核心关键原材料之一，在国防军事、航空航天、新型太阳能电池、电子产品等方面有着极其广泛的应用。作为国防军工领域核心关键原材料，一直受欧美发达国家的技术封锁，特别是对一些关键特种电子气体产品（如高纯磷烷和砷烷）实施禁运。从国家利益出发，将大规模集成电路的国产化列为我国中长期发展规划后，更亟待高纯电子气体的配套支持。

　　目前高纯特种电子气体的研发与产业化已作为我国极大规模集成电路制造装备及成套工艺的核心部分被列入我国国家科技重大专项，与大型飞机、载人航天与探月工程等16 个重大专项一起被列入《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020）》。

　　2015 年全球电子特种气体市场达74亿美元，主要生产供应商是美国气体化工（APCI）、美国普莱克斯（Praxair）、日本昭和电工（Showa Denko）、英国BOC 公司、法国液化空气（Air Liquid）、日本酸素公司等。

　　据最新2016-2021年中国电子气体产业市场运行暨产业发展趋势研究报告数据显示，2015 年国内市场规模达85 亿元，其中应用于半导体电子特气55.3 亿元。目前全球主要的跨国气体公司均在中国设有生产基地，国内高纯气体市场几乎被外资企业垄断。