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图表目录 9
第一章 湿电子化学品产品概述 1
1.1 电子化学品概述 1
1.1.1 电子化学品及其分类 1
1.1.2 电子化学品在发展电子信息产业中重要地位 1
1.1.3 电子化学品行业特点 2
1.2 湿电子化学品概述 3
1.2.1 湿电子化学品定义与品种 3
1.2.2 湿电子化学品的品种 4
1.2.3湿电子化学品的主要应用 5
1.3 湿电子化学品的行业特点 6
1.3.1 用途的关键性 6
1.3.2 行业的高增长性 7
1.3.3 品种的多样性 7
1.3.4 厂商的高垄断性 8
1.4 我国发展湿电子化学品产业的政策 9
第二章 主要湿电子化学品性能要求及生产技术 11
2.1 湿电子化学品的质量规格及标准 11
2.1.1 湿电子化学品的质量标准的演变 11
2.1.2 湿电子化学品的SEMI标准 12
2.1.3 国内湿电子化学品的标准 13
2.2 湿电子化学品主要品种性能、应用及其制备工艺路线 14
2.2.1 硫酸的性能、应用及其制备 14
2.2.2 过氧化氢的性能、应用及其制备 16
2.2.3 氢氟酸的性能、应用及其制备 19
2.2.4 盐酸的性能、应用及其制备 21
2.2.5 硝酸的性能、应用及其制备 22
2.2.6 磷酸的性能、应用及其制备 22
2.2.7 氢氧化铵的性能、应用及其制备 23
2.3 湿电子化学品制造的关键技术 24
2.3.1 制备工艺技术 24
2.3.2 分析测试技术 25
2.4 湿电子化学品的包装技术 27
2.4.1 湿电子化学品包装技术总述 27
2.4.2 对专用氟树脂包装材料的要求 28
2.4.3 对专用高密度聚乙烯树脂包装材料的要求 30
2.5 世界湿电子化学品前沿技术的新发展与应用 32
2.5.1当前世界湿电子化学品前沿产品市场主要竞争的焦点 32
2.5.2世界主要企业湿电子化学品新产品开发的新动向 33
第三章 世界湿电子化学品市场格局、生产与企业现况 36
3.1 世界湿电子化学品行业的发展历程 36
3.2 世界湿电子化学品市场格局 37
3.2.1 世界湿电子化学品市场格局所经历的三个发展时期 37
3.2.2 世界湿电子化学品市场的现况 38
3.2.3 世界湿电子化学品市场格局 40
3.4 欧美企业湿电子化学品主要生产企业情况 41
3.4.1 Basf公司 41
3.4.2 HenKel集团 42
3.5 日本企业湿电子化学品主要生产企业情况 43
3.5.1 住友化学公司 43
3.5.2 Santoku化学工业公司 43
3.6 韩国企业湿电子化学品主要生产企业情况 43
3.6.1 东友精细化工有限公司 44
3.6.2 ENF科技有限公司 44
3.7 台湾企业湿电子化学品主要生产企业情况 44
3.7.1 台湾东应化股份有限公司 44
3.7.8 台湾其它湿电子化学品生产企业 45
第四章 我国湿电子化学品生产与企业发展现况 46
4.1 我国湿电子化学品行业的发展历程 46
4.1.1初期发展阶段(20世纪70年代中期至21世纪前十年代中期) 46
4.1.2 生产转向规模化的发展阶段(2006年-2009年) 46
4.1.3 大规模化生产高速发展阶段(2010年起) 47
4.2 我国湿电子化学品生产的现况与发展 47
4.2.1 我国湿电子化学品的生产情况 47
4.2.2我国湿电子化学品生产地区分布现况 48
4.2.3 我国湿电子化学品市场分布现况 49
4.3 我国湿电子化学品生产企业概况 50
4.4 国内湿电子化学品主要生产企业情况 51
4.4.1 江阴江化微电子材料股份有限公司 51
4.4.2 苏州晶瑞化学股份有限公司 52
第五章 湿电子化学品在半导体制程上应用及其市场现状 54
5.1 湿电子化学品在半导体晶圆加工中应用总述 54
5.2 半导体晶圆加工中对湿电子化学品的质量要求 54
5.2.1 杂质对集成元件的有害影响 54
5.2.2 对湿电子化学品的洁净度要求 55
5.2.3 对湿电子化学品的包装存储和运输的要求 56
5.3 晶圆清洗与蚀刻中所用湿电子化学品的主要品种 57
5.4 湿电子化学品在半导体晶圆加工中的清洗功效 58
5.4.1 硅片加工中的化学清洗 58
5.4.2 晶圆湿法化学清洗中用湿法化学品品种 59
5.5 湿电子化学品在半导体晶圆加工中的蚀刻功效 60
5.5.1 集成电路制程中的蚀刻技术 60
5.5.2 湿电子化学品在湿式刻蚀中的应用 61
5.6 湿电子化学品在半导体晶圆制造中需求量情况 62
5.6.1 实际消耗湿化学品量的调查与测算 62
5.6.2 国内半导体芯片生产量的现况 63
第六章 湿电子化学品在太阳能电池硅片制程上应用及其市场现状 65
6.1 太阳能电池及其制造过程 65
6.1.1 太阳能电池及其构成结构 65
6.1.2 硅太阳能电池的制造过程 66
6.2 湿电子化学品在太阳能电池硅片制造中的应用情况 67
6.2.1 总述 68
6.2.2制绒加工及其使用湿电子化学品情况 68
6.3 湿电子化学品在太阳能电池片制造中需求量情况 70
第七章 湿电子化学品在液晶显示制造中应用及其市场现状 72
7.1 液晶显示面板结构及制造工艺 72
7.2 湿电子化学品在LCD面板制作中的作用 74
7.2.1 清洗 75
7.2.2 剥离-蚀刻 75
7.2.3 显影 75
7.3 在LCD面板制作用湿电子化学品品种及性能要求 76
7.3.1 显影液 76
7.3.2 Mo/Al金属蚀刻液 77
7.3.3 Cu蚀刻液 78
7.3.4 剥离液 79
7.3.5 ITO蚀刻液 79
7.3.6 电子级HF溶液 80
7.4 LCD面板制作用湿电子化学品的需求市场情况 81
7.4.1 我国4.5代以上的液晶面板投产、投建的情况 81
7.4.2 我国4.5代以上的液晶面板制造中湿化学品需求量情况 82
第八章 我国湿电子化学品总市场的现况与分析 84
8.1 2020年我国湿电子化学品市场规模总述 84
8.2 我国湿电子化学品市场结构现况 85
8.2.1 三大应用市场的湿电子化学品需求量的比例变化及其预测 85
8.2.2 三大应用市场的湿化学品品种结构及其分析 86
8.2.3 三大应用市场对湿化学品产品的纯度要求 88
8.3 我国湿电子化学品生产厂商及其市场份额现况 89
8.3.1国内半导体晶圆市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商现况 89
8.3.2国内液晶显示市场所需湿电子化学品的主要提供厂商现况 90
8.3.3国内晶硅太阳电池市场所需湿电子化学品的主要提供厂商现况 91
8.4 三大应用市场的企业对我国湿电子化学品的发展建议 92
8.4.1国内半导体晶圆生产企业提出的看法与建议 92
8.4.2国内晶硅太阳电池生产企业提出的看法与建议 92
8.4.3 国内液晶显示面板生产企业提出的看法与建议 93
8.5 对国家支持发展我国湿法电子化学品产业的看法与建议 93
图表目录
图表 1:湿电子化学品的品种 4
图表 2:湿电子化学品国际标准等级 12
图表 3:国内湿电子化学品等级分布 13
图表 4:硫酸精馏法工艺流程 15
图表 5:湿电子化学品常用纯化方法 25
图表 6:各种氟树脂的主要性能比较 29
图表 7:2016-2020年世界湿电子化学品市场规模统计 39
图表 8:2020年世界湿电子化学品市场应用结构统计 40
图表 9:2020年世界湿电子化学品市场份额统计 41
图表 10:2016-2020年中国湿电子化学品产量统计 48
图表 11:2020年中国湿电子化学品生产地区分布 49
图表 12:2020年中国湿电子化学品市场分布 50
图表 13:集成电路中杂质及其危害 55
图表 14:半导体晶圆加工领域对湿电子化学品微粒数要求 56
图表 15:半导体晶圆加工领域对湿电子化学品杂质要求 56
图表 16:2020年中国晶圆清洗与蚀刻中所用湿电子化学品的主要品种统计 58
图表 17:2016-2020年中国半导体晶圆制造用湿电子化学品需求量统计 63
图表 18:2016-2020年中国半导体芯片生产量统计 64
图表 19:太阳能电池结构示意图 66
图表 20:硅太阳能电池制造流程图 67
图表 21:单晶太阳电池片制绒加工工艺流程 69
图表 22:多晶太阳电池片制绒加工工艺流程 70
图表 23:2016-2020年中国湿电子化学品在太阳能电池制造中需求量统计 71
图表 24:TFT-LCD剖面结构示意图 72
图表 25:TFT-LCD制作工艺流程 73
图表 26:平板显示制造过程中涉及湿电子化学品品种 75
图表 27:中国4.5代以上的液晶面板投产、投建情况 81
图表 28:2016-2020年我国平板显示制造中湿电子化学品需求量统计 83
图表 29:2016-2020年中国湿电子化学品行业市场规模统计 84
图表 30:2016-2020年三大应用市场的湿电子化学品需求量的比例统计 85
图表 31:2020年半导体市场湿电子化学品品种结构统计 86
图表 32:2020年太阳能电池市场湿电子化学品品种结构统计 87
图表 33:2020年液晶显示市场湿电子化学品品种结构统计 88
图表 34:三大应用市场对湿化学品产品的纯度要求 89
图表 35:国内半导体晶圆市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商 89
图表 36:国内液晶显示市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商 91
图表 37:国内晶硅太阳电池市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商 91
目录 1
图表目录 9
第一章 湿电子化学品产品概述 1
1.1 电子化学品概述 1
1.1.1 电子化学品及其分类 1
1.1.2 电子化学品在发展电子信息产业中重要地位 1
1.1.3 电子化学品行业特点 2
1.2 湿电子化学品概述 3
1.2.1 湿电子化学品定义与品种 3
1.2.2 湿电子化学品的品种 4
1.2.3湿电子化学品的主要应用 5
1.3 湿电子化学品的行业特点 6
1.3.1 用途的关键性 6
1.3.2 行业的高增长性 7
1.3.3 品种的多样性 7
1.3.4 厂商的高垄断性 8
1.4 我国发展湿电子化学品产业的政策 9
第二章 主要湿电子化学品性能要求及生产技术 11
2.1 湿电子化学品的质量规格及标准 11
2.1.1 湿电子化学品的质量标准的演变 11
2.1.2 湿电子化学品的SEMI标准 12
2.1.3 国内湿电子化学品的标准 13
2.2 湿电子化学品主要品种性能、应用及其制备工艺路线 14
2.2.1 硫酸的性能、应用及其制备 14
2.2.2 过氧化氢的性能、应用及其制备 16
2.2.3 氢氟酸的性能、应用及其制备 19
2.2.4 盐酸的性能、应用及其制备 21
2.2.5 硝酸的性能、应用及其制备 22
2.2.6 磷酸的性能、应用及其制备 22
2.2.7 氢氧化铵的性能、应用及其制备 23
2.3 湿电子化学品制造的关键技术 24
2.3.1 制备工艺技术 24
2.3.2 分析测试技术 25
2.4 湿电子化学品的包装技术 27
2.4.1 湿电子化学品包装技术总述 27
2.4.2 对专用氟树脂包装材料的要求 28
2.4.3 对专用高密度聚乙烯树脂包装材料的要求 30
2.5 世界湿电子化学品前沿技术的新发展与应用 32
2.5.1当前世界湿电子化学品前沿产品市场主要竞争的焦点 32
2.5.2世界主要企业湿电子化学品新产品开发的新动向 33
第三章 世界湿电子化学品市场格局、生产与企业现况 36
3.1 世界湿电子化学品行业的发展历程 36
3.2 世界湿电子化学品市场格局 37
3.2.1 世界湿电子化学品市场格局所经历的三个发展时期 37
3.2.2 世界湿电子化学品市场的现况 38
3.2.3 世界湿电子化学品市场格局 40
3.4 欧美企业湿电子化学品主要生产企业情况 41
3.4.1 Basf公司 41
3.4.2 HenKel集团 42
3.5 日本企业湿电子化学品主要生产企业情况 43
3.5.1 住友化学公司 43
3.5.2 Santoku化学工业公司 43
3.6 韩国企业湿电子化学品主要生产企业情况 43
3.6.1 东友精细化工有限公司 44
3.6.2 ENF科技有限公司 44
3.7 台湾企业湿电子化学品主要生产企业情况 44
3.7.1 台湾东应化股份有限公司 44
3.7.8 台湾其它湿电子化学品生产企业 45
第四章 我国湿电子化学品生产与企业发展现况 46
4.1 我国湿电子化学品行业的发展历程 46
4.1.1初期发展阶段(20世纪70年代中期至21世纪前十年代中期) 46
4.1.2 生产转向规模化的发展阶段(2006年-2009年) 46
4.1.3 大规模化生产高速发展阶段(2010年起) 47
4.2 我国湿电子化学品生产的现况与发展 47
4.2.1 我国湿电子化学品的生产情况 47
4.2.2我国湿电子化学品生产地区分布现况 48
4.2.3 我国湿电子化学品市场分布现况 49
4.3 我国湿电子化学品生产企业概况 50
4.4 国内湿电子化学品主要生产企业情况 51
4.4.1 江阴江化微电子材料股份有限公司 51
4.4.2 苏州晶瑞化学股份有限公司 52
第五章 湿电子化学品在半导体制程上应用及其市场现状 54
5.1 湿电子化学品在半导体晶圆加工中应用总述 54
5.2 半导体晶圆加工中对湿电子化学品的质量要求 54
5.2.1 杂质对集成元件的有害影响 54
5.2.2 对湿电子化学品的洁净度要求 55
5.2.3 对湿电子化学品的包装存储和运输的要求 56
5.3 晶圆清洗与蚀刻中所用湿电子化学品的主要品种 57
5.4 湿电子化学品在半导体晶圆加工中的清洗功效 58
5.4.1 硅片加工中的化学清洗 58
5.4.2 晶圆湿法化学清洗中用湿法化学品品种 59
5.5 湿电子化学品在半导体晶圆加工中的蚀刻功效 60
5.5.1 集成电路制程中的蚀刻技术 60
5.5.2 湿电子化学品在湿式刻蚀中的应用 61
5.6 湿电子化学品在半导体晶圆制造中需求量情况 62
5.6.1 实际消耗湿化学品量的调查与测算 62
5.6.2 国内半导体芯片生产量的现况 63
第六章 湿电子化学品在太阳能电池硅片制程上应用及其市场现状 65
6.1 太阳能电池及其制造过程 65
6.1.1 太阳能电池及其构成结构 65
6.1.2 硅太阳能电池的制造过程 66
6.2 湿电子化学品在太阳能电池硅片制造中的应用情况 67
6.2.1 总述 68
6.2.2制绒加工及其使用湿电子化学品情况 68
6.3 湿电子化学品在太阳能电池片制造中需求量情况 70
第七章 湿电子化学品在液晶显示制造中应用及其市场现状 72
7.1 液晶显示面板结构及制造工艺 72
7.2 湿电子化学品在LCD面板制作中的作用 74
7.2.1 清洗 75
7.2.2 剥离-蚀刻 75
7.2.3 显影 75
7.3 在LCD面板制作用湿电子化学品品种及性能要求 76
7.3.1 显影液 76
7.3.2 Mo/Al金属蚀刻液 77
7.3.3 Cu蚀刻液 78
7.3.4 剥离液 79
7.3.5 ITO蚀刻液 79
7.3.6 电子级HF溶液 80
7.4 LCD面板制作用湿电子化学品的需求市场情况 81
7.4.1 我国4.5代以上的液晶面板投产、投建的情况 81
7.4.2 我国4.5代以上的液晶面板制造中湿化学品需求量情况 82
第八章 我国湿电子化学品总市场的现况与分析 84
8.1 2020年我国湿电子化学品市场规模总述 84
8.2 我国湿电子化学品市场结构现况 85
8.2.1 三大应用市场的湿电子化学品需求量的比例变化及其预测 85
8.2.2 三大应用市场的湿化学品品种结构及其分析 86
8.2.3 三大应用市场对湿化学品产品的纯度要求 88
8.3 我国湿电子化学品生产厂商及其市场份额现况 89
8.3.1国内半导体晶圆市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商现况 89
8.3.2国内液晶显示市场所需湿电子化学品的主要提供厂商现况 90
8.3.3国内晶硅太阳电池市场所需湿电子化学品的主要提供厂商现况 91
8.4 三大应用市场的企业对我国湿电子化学品的发展建议 92
8.4.1国内半导体晶圆生产企业提出的看法与建议 92
8.4.2国内晶硅太阳电池生产企业提出的看法与建议 92
8.4.3 国内液晶显示面板生产企业提出的看法与建议 93
8.5 对国家支持发展我国湿法电子化学品产业的看法与建议 93
图表目录
图表 1:湿电子化学品的品种 4
图表 2:湿电子化学品国际标准等级 12
图表 3:国内湿电子化学品等级分布 13
图表 4:硫酸精馏法工艺流程 15
图表 5:湿电子化学品常用纯化方法 25
图表 6:各种氟树脂的主要性能比较 29
图表 7:2016-2020年世界湿电子化学品市场规模统计 39
图表 8:2020年世界湿电子化学品市场应用结构统计 40
图表 9:2020年世界湿电子化学品市场份额统计 41
图表 10:2016-2020年中国湿电子化学品产量统计 48
图表 11:2020年中国湿电子化学品生产地区分布 49
图表 12:2020年中国湿电子化学品市场分布 50
图表 13:集成电路中杂质及其危害 55
图表 14:半导体晶圆加工领域对湿电子化学品微粒数要求 56
图表 15:半导体晶圆加工领域对湿电子化学品杂质要求 56
图表 16:2020年中国晶圆清洗与蚀刻中所用湿电子化学品的主要品种统计 58
图表 17:2016-2020年中国半导体晶圆制造用湿电子化学品需求量统计 63
图表 18:2016-2020年中国半导体芯片生产量统计 64
图表 19:太阳能电池结构示意图 66
图表 20:硅太阳能电池制造流程图 67
图表 21:单晶太阳电池片制绒加工工艺流程 69
图表 22:多晶太阳电池片制绒加工工艺流程 70
图表 23:2016-2020年中国湿电子化学品在太阳能电池制造中需求量统计 71
图表 24:TFT-LCD剖面结构示意图 72
图表 25:TFT-LCD制作工艺流程 73
图表 26:平板显示制造过程中涉及湿电子化学品品种 75
图表 27:中国4.5代以上的液晶面板投产、投建情况 81
图表 28:2016-2020年我国平板显示制造中湿电子化学品需求量统计 83
图表 29:2016-2020年中国湿电子化学品行业市场规模统计 84
图表 30:2016-2020年三大应用市场的湿电子化学品需求量的比例统计 85
图表 31:2020年半导体市场湿电子化学品品种结构统计 86
图表 32:2020年太阳能电池市场湿电子化学品品种结构统计 87
图表 33:2020年液晶显示市场湿电子化学品品种结构统计 88
图表 34:三大应用市场对湿化学品产品的纯度要求 89
图表 35:国内半导体晶圆市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商 89
图表 36:国内液晶显示市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商 91
图表 37:国内晶硅太阳电池市场所需湿电子化学品的主要生产提供厂商 91