中国报告大厅网讯，干式真空泵作为高端通用机械的细分品类，行业现状与下游半导体、光伏产业发展高度绑定，近年来中国大陆高端制造业产能持续扩张，带动干式真空泵需求快速增长，本土企业技术突破也推动进口替代进程加快，市场结构发生明显变化。

一、需求端市场规模

1.1 分应用领域规模

1.1.1 集成电路应用市场

干式真空泵（干泵）是无油、无接触式的真空获得设备，属于通用机械泵类的细分领域，广泛应用于对真空洁净度要求较高的集成电路制造环节，从晶圆加工到封装测试都需要大量配置，单条12英寸晶圆生产线的干泵需求量可达数百台。全球集成电路产业的产能扩张直接拉动干泵需求增长，现有可验证的规模数据覆盖2023-2024两个完整年度，需求端与市场规模两个维度都有连续可比数据。半导体产业作为高端制造业，对干泵的稳定性、洁净度要求远高于其他应用领域，因此集成电路领域的干泵单价、市场规模占比都处于较高水平，全球范围内集成电路都是干式真空泵最大的下游应用领域。全球集成电路产能持续向中国大陆转移，中国大陆的集成电路干泵需求占全球比重已经超过四成，连续两年的规模和需求数据呈现稳定增长态势。

表1 2023-2024集成电路干式真空泵市场规模（单位：亿元）

这一规模占比反映出中国大陆集成电路产业的全球产能地位，近年来中国大陆新建晶圆产线数量持续高于全球其他区域，干泵需求随新增产能投放同步释放。需求规模的增长也为本土干泵企业创造了替代进口的市场空间，本土厂商的份额提升仍有较大空间。

份额方面，本土头部企业在中国大陆集成电路干泵市场的占有率已经达到12.72%，相比早期个位数的占比已经有明显提升。这一份额的提升一方面得益于本土企业技术突破，产品性能已经能够满足成熟制程的生产要求，另一方面也得益于下游晶圆厂的供应链本土化策略，越来越多的本土厂商进入主流设备厂商的供应链体系。当前支持国内外主流设备厂商的本土头部企业已经覆盖30余家，产品适配性已经得到市场验证。集成电路制造对干泵的需求不仅来自新增产线的装机，还包括存量设备的更换，干泵的平均使用寿命约为5-8年，存量更换需求也会随着早年安装设备的老化逐步释放，这部分需求相对稳定，能够为干泵企业提供持续的营收来源。成熟制程领域的本土替代已经进入加速阶段，先进制程领域的产品验证仍在推进中，短期来看本土企业的增长核心依然来自成熟制程领域的份额替代，长期来看先进制程的突破会进一步打开市场空间。

1.1.2 光伏应用市场

光伏产业是中国大陆干式真空泵第二大下游应用领域，在硅片生产、电池片制造环节都需要大量使用干泵，尤其是N型电池技术渗透率提升之后，对真空环境的洁净度要求更高，干泵对油式泵的替代速度明显加快。光伏产业的产能扩张在2022-2024年处于高位，大规模的新增产能直接拉动干泵需求增长，不同机构的交叉验证显示，2024年中国光伏领域干泵市场规模处于47.0亿元到57.2亿元区间，需求量处于6.7万台到8.2万台区间。和集成电路领域不同，光伏领域对干泵的成本敏感度更高，本土企业在光伏领域的份额本来就远高于集成电路领域，光伏下游企业更愿意采用性价比更高的本土干泵产品，这也使得本土干泵企业在光伏领域的营收增长速度更快。当前中国大陆干式真空泵的下游需求主要集中在集成电路和光伏两大领域，两者合计占整体市场规模的比重超过九成，化工、医药等其他领域占比相对较小，不同领域的市场规模区间已经有交叉验证的数据。

表2 2024年中国干式真空泵主要下游应用市场规模（单位：亿元）

两大领域的需求增长都受益于中国大陆高端制造业的产能扩张，不同领域对产品的要求差异明显，集成电路领域侧重技术壁垒和产品稳定性，光伏领域侧重成本和交付能力，本土头部企业在两个领域都实现了布局，能够对冲单一领域的需求波动。

光伏产业的产能扩张速度在2024年已经出现边际放缓，干泵的替代需求依然存在，早期很多光伏产能采用的是油式真空泵，随着N型电池对真空洁净度要求提升，存量替换市场的需求会逐步释放，这部分需求能够对冲新增产能扩张放缓的影响。干泵在光伏领域的渗透率还在持续提升，不同技术路线对干泵的需求量也有差异，N型TOPCon、异质结电池的单位硅片耗泵量高于P型，因此技术路线升级也会带动单位需求的增长。本土企业在光伏领域的竞争优势明显，不仅产品性价比更高，交付周期也更短，能够适应光伏产业快速扩产的节奏，因此很多光伏企业在新建产能时会优先选择本土品牌的干泵产品，这也使得本土企业在光伏领域的营收占比普遍高于集成电路领域。部分头部企业光伏领域的营收占比已经超过四成，成为重要的增长极。

二、供给端竞争格局

2.1 头部本土企业经营

2.1.1 核心财务表现

本土干式真空泵头部企业的公开财务数据覆盖2022-2025四个完整年度，营收和利润的连续数据能够反映企业的增长趋势，头部企业保持了较快的营收复合增长，2022-2025年营收复合增长率达到22.75%，归母净利润复合增长率达到19.32%，整体增长速度高于通用机械行业平均水平。增长的核心驱动力来自下游需求增长和进口替代两个方面，下游半导体和光伏产业的产能扩张拉动整体需求增长，本土企业的份额提升也带动营收快于行业整体增长。头部企业受非经常性损益的影响，不同年度归母净利润波动较大，2024年归母净利润出现明显下滑，主要是股权支付等非经常性损益影响，扣非归母净利润依然保持正增长。期间费用率保持稳定，2023年期间费用率为21.11%，2024年为21.69%，波动幅度不到1个百分点，说明企业的费用管控能力保持稳定，规模效应下费用率没有出现明显提升。销售毛利率保持在30%左右的区间，符合高端装备制造行业的盈利水平，2022年销售毛利率为28.66%，2023年提升至33.02%，2024年回落至29.44%，波动主要受产品结构和原材料价格变化影响，整体依然保持在合理区间。

表3 2022-2025本土头部干式真空泵企业核心财务数据（单位：亿元）

营收连续四年保持双位数同比增长，2023年增速22.0%，2024年27.1%，2025年19.3%，增长的稳定性较强。归母净利润的波动主要来自非经常性损益，扣非归母净利润从2022到2024连续三年保持正增长，年均复合增速超过18%，核心业务的盈利能力保持稳定增长。2025年归母净利润同比增速达到337.8%，主要是2024年低基数效应所致，核心业务增长并未出现如此大的波动。

核心业务层面，头部企业集成电路领域的营业收入2024年达到6.63亿元，占总营收的比重超过六成，是当前最大的营收来源，反映出本土企业在集成电路领域替代进口的成果。对比来看，光伏领域的营收占比虽然低于集成电路，但是增长速度更快，近三年的复合增速高于集成电路领域，成为重要的增长补充。不同下游领域的布局，能够帮助企业平滑行业周期波动，避免单一领域产能扩张放缓对企业营收增长带来过大冲击。费用层面，期间费用从2023年的1.80亿元增长到2024年的2.35亿元，和营收增长幅度基本匹配，费用率基本稳定，说明企业在规模扩张的过程中没有出现费用失控的情况，内部管理效率保持稳定。销售毛利率的波动，一方面和原材料价格波动有关，钢材、铝合金等原材料价格上涨会挤压毛利空间，另一方面和产品结构有关，光伏领域产品毛利率略低于集成电路领域，光伏占比提升也会拉低整体毛利率水平，整体来看毛利率波动属于正常区间，没有出现持续性下滑的情况。

2.2 本土企业技术布局

2.2.1 产品与标准布局

本土头部干式真空泵企业经过多年的技术研发，已经形成了较为完整的产品矩阵，截至2025年，已经推出3个系列近40款干式真空泵产品，能够覆盖不同下游领域的多种应用场景，工作压强范围覆盖10^-1Pa到10⁵Pa，能够满足绝大多数工业领域的抽真空需求。产品布局的完善，使得企业能够应对不同客户的差异化需求，不需要针对单一需求重新开发产品，缩短了交付周期，提升了客户满意度。标准制定层面，头部企业参与制定的国家、行业、团体标准达到13项，说明企业的技术能力得到行业认可，在行业内具备一定的话语权。参与标准制定不仅能够提升企业的行业影响力，还能够帮助企业提前把握技术方向，提前布局相关技术研发，保持技术领先性。供应链适配方面，头部企业已经获得30余家国内外主流设备厂商的认证，能够为主流设备提供配套干泵产品，进入主流供应链体系是本土企业替代进口的重要一步，只有进入设备厂商的供应链体系，才能获得持续的订单，逐步提升市场份额。

技术层面，干式真空泵的核心技术壁垒在于转子的精密加工、密封材料的可靠性以及整机的稳定性，本土企业早期在精密加工环节存在短板，经过多年的产业链布局，目前上游精密加工、电机、密封材料等环节已经实现本土化供应，核心零部件的自主可控程度明显提升，不仅降低了生产成本，还提升了交付能力，避免了进口零部件缺货对产能的影响。不同技术路线的干泵产品，螺杆式干泵是当前市场需求量最大的细分产品，广泛应用于半导体和光伏领域，本土头部企业的螺杆式干泵产品性能已经接近国际一线品牌水平，价格比进口产品低10%-20%，具备明显的性价比优势，竞争能力明显提升。爪式、涡旋式干泵也实现了布局，能够满足不同细分场景的需求，产品矩阵的完善提升了企业的整体竞争能力。

当前国际品牌依然占据中国大陆干泵市场超过八成的份额，尤其是高端集成电路领域，国际品牌的占比更高，本土企业的替代空间依然很大，随着本土企业技术的持续进步，下游客户对本土产品的认可度不断提升，替代速度会逐步加快。下游产业供应链本土化政策会进一步加速这一进程，本土企业的营收增长速度有望维持在较高水平。本土企业的优势不仅在于价格，还有服务，本土企业能够提供更快的售后响应速度，及时解决客户使用过程中出现的问题，这也是很多下游客户选择本土产品的重要原因。部分中小客户对售后响应速度的要求更高，本土品牌的优势更加明显。

核心洞察

1. 中国大陆集成电路干式真空泵市场占全球比重超41%，下游需求增长持续打开本土企业成长空间
2. 本土头部企业2022-2025年营收复合增速达22.75%，核心业务盈利增长稳定
3. 本土企业累计参与13项行业标准制定，技术认可度与产品覆盖能力持续提升

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