企业名称 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 统一社会代码 | 91310000736664790J |
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法人代表 | 干* | 成立日期 | 2002-03-07 |
公司类型 | 股份有限公司(非上市、国有控股) | 所在地区 | 上海 |
联系方式 | 021-51315131 | 企业官方 | http://www.smee.com.cn |
企业地址 | 上海市 张江高科技园区张东路1525号 | 企业邮箱 | info@smee.com.cn |
经营范围 | 半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务,经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务(但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】 |
序号 | 专利号/专利申请号 | 专利名称 |
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1 | ZL201310747393.8 | 一种调焦调平装置 |
2 | ZL201410857409.5 | 一种硅片边缘保护装置 |
3 | ZL201110241791.3 | 一种步进光刻设备及光刻曝光方法 |
上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。